现货 ULVAC 爱发科 热阴极电离真空计

• 操作性的提高：通过与PC/智能手机的连接，可以进行设定点设置、状态确认等。

• 灯丝寿命通知功能：通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命。

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• 可连接到不同的测量范围：复合电离真空计可以根据工艺选择测定子。

• 小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小（控制器体积缩小56%），成为同级别最小的产品之一。

用途

• 用于有机EL・触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认

• 用于在含有多种碳氢化合物（油类）的环境中进行测量

• 用于在真空零件加工时残留切削油和清洁液的环境中进行测量

• 用于需要降低测定子更换频率的真空设备

• 规格

• 型号		ST200-A	ST200-R	ST200-E （即将上市）
  规格		标准规格	串口通信规格	EtherCAT规格
  适应多离子传感器		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
  可以连接的传感器		多离子传感器：1本 皮拉尼真空计SWU10-R：1本（可选） 大其他传感器SAU：1本（可选）
  测量精度（N2）		ST200本体模式：±2％
  取样时间		60ms 5
  測定値出力		出力电压 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁 圧力换算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^
  更新时间		60msec
  控制输入信号		FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打开集电极动作、负逻辑	-	-
  制御出力信号		传感器错误，设定点1/2/3, 有效排放,灯丝电力监控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V	-	-
  串行通信规格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
  LED显示		POWER/ERROR： 电源、LED ERROR (闪烁状态根据各种模式变化)
  发射电流		2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
  DEGAS		电子轰击脱离方法（电子轰击）1mA、330V
  测量部耐圧性		2×10+5Pa （绝对压力） * 需要单独考虑法兰和夹具等的耐压性
  传感器内部容量		17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
  使用温度范围		10～50℃
  使用湿度范围		15～80%(不结露)
  保管温度		-20～65℃(非通电时、不结露)
  IP保护等級		IP30
  电源电压		DC20～28V (波纹，噪音1%以下)　 8W以下
  输入/输出连接器		D-sub15销（M2.6螺丝）
  重量		调节器：约280g　测定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
  外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)

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